在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害的物质从而使污染物得以降解去除。降解挥发性有机物（VOCs）传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件限制，具有潜在的优势。

应用领域：

卷烟厂除臭、污水处理厂除臭、垃圾填埋场除臭、化工有机废气深度处理等。